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针对化工厂废气种类以及其中含有的成分,在对其进行处理的时候可以采用多种废气处理工艺进行净化,如光氧催化废气处理设备、低温等离子废气处理设备、RTO蓄热燃烧设备、活性炭吸附箱、水喷淋废气处理设备等。首先,化工厂产生的废气经收集后进入喷淋塔废气处理设备中,经过填料层,废气与氢氧化钠吸收液进行气液两相充分接触吸收中和反应,用以去除酸性污染物及颗粒物。经过层净化后的废气进入到低温等离子废气处理设备中,等离子体内部产生富含极高化学活性的粒子,如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应,转化为CO2和H2O等物质,从而达到净化废气的目的。